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P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀 用于生物技術/納米技術的gao精度操 縱工具 諧振頻率為4.0千赫茲（X、Y）、11 千 赫茲 （Z） 行程1微米×1微米×0.6微米

德國PI P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀 運動和定位 主動軸 X、Y、Z X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米 Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

PI PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀 P-313 PicoCubeXY（Z）壓電掃描儀 ? 用于AFM / SPM的高線性掃描儀 ? 分辨率高達20皮米，滯后小于1 納米